Theo hướng dẫn của US EPA 40 CFR ch.53, các thông số dưới đây thường được theo dõi và báo cáo, hầu hết các quốc gia trên thế giới coi đây là thông số cần giám sát bắt buộc và là tiêu chuẩn chung.
SO2, NO – Thường sản sinh từ quá trình sản xuất công nghiệp và quá trình sử dụng phương tiện giao thông. Nguyên nhân chính gây ra mưa axit và chất gây kích ứng hệ hô hấp của con người. NOx sẽ phản ứng với VOC xung quanh để tạo thành PAN, đây là chất chỉ thị chính cho ô nhiễm quang hóa học.
CO – Khí độc thông thường sinh ra do đốt nhiên liệu hóa thạch. (Nhà máy nhiệt điện, sự cháy, v.v.)
PM10 – Kim loại nặng hoặc các hợp chất độc hại khác sẽ được gắn trên PM10, hệ hô hấp của con người rất dễ bị ảnh hưởng bởi PM10.
PM2.5 – Tương tự như PM10, nhưng PM2.5 sẽ đi vào phổi.
Ozone – Nghiêm trọng hơn PM2.5 hoặc NOx khi vượt quá giới hạn. Là chất oxy hóa mạnh, Ozone sẽ oxy hóa SO2, NO hoặc VOC thành dạng hạt, 85% ô nhiễm quang hóa là do vượt quá Ozone.