Máy phân tích khí vết độ chính xác cao (TGA-323) là một thiết bị chuyên nghiệp được thiết kế để đo hydro clorua (HCl) trong phân tích ô nhiễm phân tử không khí (AMC) trong ngành công nghiệp bán dẫn. Máy sử dụng quang phổ vòng xuống khoang quang học (CRDS) và có độ nhạy siêu cao, giới hạn phát hiện thấp hơn có thể đạt đến mức ppt. Không cần hiệu chuẩn tại chỗ, lý tưởng cho các phép đo liên tục. 

Đường ống bên trong của máy phân tích được phủ một lớp phủ đặc biệt, có thể làm giảm hiệu quả sự hấp phụ của các phân tử hydro clorua (HCl) trên thành đường ống, tăng tốc thời gian đáp ứng phép đo và loại bỏ độ lệch phép đo. Đồng thời, máy phân tích áp dụng thiết kế khoang thể tích nhỏ, có thể cải thiện hơn nữa tốc độ đo. 

So với phép đo phổ di động ion (IMS) và các kỹ thuật sắc ký ion truyền thống, quang phổ quay vòng xuống khoang (CRDS) có những ưu điểm đáng kể như giới hạn phát hiện thấp, thời gian phản hồi nhanh và không cần vật tư tiêu hao. Khả năng bảo trì thấp, lý tưởng để theo dõi liên tục các AMC trong ngành công nghiệp bán dẫn.